사양

• 회전 테이블 정밀도(JIS B 7451 -1997)/레이디얼 방향: (0.02 + 3.5 H/10,000) μm H 측정 높이(mm)
• 회전 테이블 정밀도(JIS B 7451-1997)/축 방향: (0.02 + 3.5 X/10,000) μm X 회전 중심으로부터의 거리(mm)
• 표 회전/회전 속도: 2, 4, 6, 10rpm
• 회전 테이블/테이블 유효 지름: 200~235밀리미터
• 회전 테이블 부품, 중앙/수평 조정 메커니즘: D.A.T 또는 A.A.T
• 회전 테이블 부품/중심 조정 범위: ± 3, 최대 5, mm
• 회전 테이블 부품/수평 조정 범위: ± 1°
• 회전 테이블 부품/최대 하중 질량: 30킬로그램
• 회전 테이블 부품/최대 측정 지름: 위 300밀리미터
• 회전 테이블 부품/최대 적재 지름: 로580밀리미터
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/직진도(좁은 범위): 0.10 μm/100 mm
• 수직 이동(Z축 열 섹션)/동작 직진도(넓은 범위): 0.15~0.25 μm/300~500mm
• 수직 컨트롤러(Z축 열 섹션)/회전 축에 대한 병렬화(버스바 참조): 0.7~1.2 μm/300~500mm
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/이동 금액: 300~500밀리미터
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/이동 속도: 최대 50mm/s(0.5/1.0/2.0/5.0mm/s 측정)
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/최대 측정 높이(외경 측정 시간): 300~500밀리미터
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/최대 측정 높이(내경 측정 시간): 300~500밀리미터
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/최대 측정 깊이(표준 프로브를 사용하는 경우): 32 x 깊이 85 mm, 7 x 깊이 50 mm
• 방사형 이동성/동작 직진도: 0.7 μm/150 mm (선택 2.5)
• 레이디얼 이동/회전 축에 수직(busbar 참조): 1.0 μm/150 mm
• 레이디얼 변위/변위: 175mm(-25mm(피벗 점에서 + 150mm))
• 레이디얼 변위/이동 속도: 최대 30mm/s(0.5/1.0/2.0/5.0mm/s 측정)
• 탐지기/측정력: 10~50mN(5단계 스위치)
• 검출기/측정기 팁 모양, 재료: 위 1.6mm, 초경질구
• 탐지기/탐지 범위(표준): ± 400 μm/± 40 μm/± 4 μm
• 탐지기/탐지 범위(다음): ± 5밀리미터
• 탐지기/기타: IN/OUT 스위칭 메커니즘으로 힘 스위칭 메커니즘을 측정(5단계)할 경우 Z축 충돌 감지 기능을 제공하며 스타일러스 각도 눈금(± 45°)과 슬라이딩 검출기 홀더(3위치 사양) 포함
• 전원 공급 장치: 100V ~: 240볼트
• 공기 소비량: 0.39암페어
• 공기 소비량: 표준 조건에서 30L/분(80L/분 이상의 공기 소스)
• 무게: 180~200킬로그램
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