사양

• 회전 테이블 회전 정밀도(JIS B 7451 -1997)/레이디얼 방향: (0.02 + 6H/10,000) μm H 측정 높이(mm)
• 회전 테이블 정밀도(JIS B 7451-1997)/축 방향: (0.02 + 6X/10,000) μm X 회전 중심으로부터의 거리(mm)
• 표 회전 속도: 4, 6, 10rpm
• 회전 테이블 유효 지름: 150밀리미터
• 회전 테이블 부품 중심/수평 조정 메커니즘: D.A.T
• 회전 테이블 영역 가운데 맞춤 조정 범위: ± 3밀리미터
• 회전 표 가로 조정 범위: ± 1°
• 회전 테이블 부품의 최대 하중 질량: 25킬로그램
• 회전 테이블 부품의 최대 측정 지름: 와280밀리미터
• 회전 테이블 부품의 최대 적재 지름: 60밀리미터
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/동작 직진도: 좁은 범위 0.20 μm/100 mm, 넓은 범위 0.30 μm/300 mm
• 수직 이동 부분(Z축 열 단면)/회전 축에 대한 병렬화(버스바 참조): 300mm/1.5μm
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/이동 금액: 300밀리미터
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/이동 속도: 최대 15mm/s(0.5/1.0/2.0/5.0mm/s 측정)
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/최대 측정 높이: 300밀리미터
• 수직 이동 부품(Z축 열 단면)/최대 측정 깊이(표준 프로브를 사용하는 경우): 32 x 깊이 91 mm, 7 x 깊이 50 mm
• 레이디얼 이동/동작의 직진성: 2.7μm/140mm
• 레이디얼 이동/회전 축에 수직(busbar 참조): 1.6μm/140mm
• 레이디얼 변위/변위: 165mm(-25mm(피벗 점에서 + 140mm))
• 레이디얼 변위/이동 속도: 최대 8mm/s(0.5/1.0/2.0/5.0mm/s 측정)
• 탐지기/측정력: 10~50mN(5단계 스위치)
• 검출기/측정기 팁 모양, 재료: 초경량 구
• 탐지기/탐지 범위(기준): ± 400 μm/± 40 μm/± 4 μm
• 탐지기/탐지 범위(다음): ± 5밀리미터
• 탐지기/기타: IN/OUT 스위칭 메커니즘과 함께 힘 스위칭 메커니즘을 사용하여(5단계), Z축 충돌 감지 기능, 스타일러스 각도 눈금(± 45°)
• 전원 공급 장치: 100V ~: 240볼트
• 전력 소비량: 80W(PC 프린터 제외)
• 공기 소비량: 0.39암페어
• 공기 소비량: 22 L/min(참조 조건) [80 L/min 이상의 공기 소스]
• 무게: 170킬로그램
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