61-6983-18 ความละเอียดขั้นตอนการจัดแนวอัตโนมัติชนิดความทนทานสูง ประมาณ 0.0053° HDS-60YAW
คุณลักษณะ
- Automatic rotation stage for micro-angle adjustment used for alignment of semiconductor wafer markers, etc.
- Ideal for applications such as automatic alignment devices that adjust minute rotation angles for each sample.
- The use of ball screws in the drive mechanism reduces wear and rattling of parts and achieves high durability.
- Since the linear motion of the ball screw is converted to the rotational motion by the steel belt, the resolution and rotational speed do not differ between the stroke center and the stroke end.
- The HDS series origin sensor is located near the stroke center (0°).
- * Use the HDS series in a horizontal plane.
- * Performance cannot be guaranteed when the watch is mounted on a vertical surface or on an inverted surface.
ข้อมูลจําเพาะ
- [ > ระยะการหมุนอัตโนมัติประเภทความทนทานสูง < ข้อมูลจําเพาะทั่วไป]
- ประเภทมอเตอร์: HDS-60YAW: 5 phase stepping Moter 0.66/phase (Tamagava Seiki (Co., Ltd.), HDS-80YAW, HDS-120YAW: 5 phase stepping Moter 0.75A/phase (Oriental Moter (Co., Ltd)
- หมายเลขผลิตภัณฑ์มอเตอร์: HDS-60YAW: TS3664N4 (□24 มม.), HDS-80YAW, HDS-120YAW: C9863-90215P (□28มม.)
- มุมขั้นตอนมอเตอร์: 0.72°
- แรงดันไฟของเซนเซอร์: DC5 - 24V ± 10%
- การใช้พลังงานของเซนเซอร์: 60mA หรือน้อยกว่า (20mA หรือน้อยกว่าต่อ 1 เซนเซอร์)
- เอาท์พุทตัวควบคุมเซนเซอร์: ผลลัพธ์ตัวสะสมแบบเปิด NPN DC 30V หรือน้อยกว่า 50mA
- ตรรกะการแสดงผลของเซนเซอร์: เมื่อแรเงา: ปิดทรานซิสเตอร์ส่งออก (ไม่นําสัญญาณ): จํากัดเซนเซอร์ เมื่อแรเงา: ON ทรานซิสเตอร์เอาท์พุท (กําลังนํา): เซนเซอร์จุดกําเนิด
- โปรแกรมควบคุมที่เข้ากันได้: SG-5M, SG-5MA, SG-55M, SG-55MA, SG-514MSC
- ตัวควบคุมที่เข้ากันได้: GSC-01, GIP-101, GSC-02, SHOT-702, SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M HIT-M, PGC-04
- [การระบุบุคคล]
- ช่วงการหมุน: ± 5°
- ขนาดพื้นผิวตาราง: φ60มม.
- กลไกการเคลื่อนที่: สกรูบอล + เข็มขัดเหล็ก
- คู่มือการเคลื่อนย้าย: ระบบตลับหัว
- วัสดุด้านบนของขั้น: อะลูมิเนียม
- การรักษาพื้นผิว: แบล็กอะนอดิกออกไซด์
- มวล: 0.5 กก.
- ความละเอียด (เต็ม): ประมาณ 0.0053°/จรวด
- ความละเอียด (ครึ่ง): ประมาณ 0.0027°/จรวด
- ความเร็วสูงสุด: 60°/วินาที
- ความถูกต้องของตําแหน่ง: 0.05°
- ความแม่นยําของการวางตําแหน่งที่ทําซ้ําได้: 0.003°
- โหลดแบบหัก ณ ที่จ่าย: 29.4N (3.0kgf)
- ความหนาแน่นของช่วงเวลา: 1]/N ซม.
- การเคลื่อนไหวหาย: 0.003°
- แบ็คแลช: 0.05°
- ความเท่าเทียม: 50μม.
- ความเข้มข้น: 10μm (ในช่วง ± 5°)
- วอบเบิ้ล: 0.01μm (ในช่วง ± 5°)
- หมายเลขผลิตภัณฑ์เซนเซอร์: เซนเซอร์ภาพถ่ายไมโคร: GP1S097HCZ (ชาร์ป คอร์ปอเรชั่น)
- จํากัดเซนเซอร์: พร้อมใช้งาน (ปิดปกติ)
- เซนเซอร์ดั้งเดิม: พร้อมใช้งาน (เปิดปกติ)
- เซนเซอร์ตรวจจับจุดกําเนิดของอุปกรณ์ใกล้เคียง: ไม่
- ผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องตาม CE
- ผลิตภัณฑ์สอดคล้องของ RoHS
| หมายเลขใบสั่ง | 61-6983-18 | |
|---|---|---|
| หมายเลขแบบจําลอง | HDS-60YAW | |
| ราคามาตรฐาน |
JPY: 154,000
USD: 965.34
Excange rate 1USD= 159.53JPY
Valid price in Japan |
|
| ปริมาณ | 1piece | |
| หุ้นในประเทศญี่ปุ่น |
|
|
| หุ้นซัพพลายเออร์ |
|
|
ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง (ขนาดที่แตกต่างกัน, ข้อมูลจําเพาะ,ผลิตภัณฑ์ตัวเลือก ฯลฯ)
| รูปภาพผลิตภัณฑ์ | หมายเลขใบสั่ง | ชื่อ | หมายเลขแบบจําลอง | ปริมาณ | ราคามาตรฐาน | ราคาที่ถูกต้องในประเทศญี่ปุ่น | หุ้น [หุ้นซัพพลายเออร์] |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
 |
61-6983-18 | ความละเอียดขั้นตอนการจัดแนวอัตโนมัติชนิดความทนทานสูง ประมาณ 0.0053° HDS-60YAW | HDS-60YAW | 1piece | JPY: 154,000 | USD: 965.34 |
|
|
 |
61-6983-19 | ความละเอียดขั้นตอนการจัดแนวอัตโนมัติชนิดความทนทานสูง ประมาณ 0.0038° HDS-80YAW | HDS-80YAW | 1piece | JPY: 220,000 | USD: 1,379.05 |
|
|
 |
61-6983-20 | ［เลิกผลิตแล้ว］ความละเอียดขั้นตอนการจัดแนวอัตโนมัติชนิดความทนทานสูง ประมาณ 0.0022° HDS-120YAW | HDS-120YAW | 1piece | JPY: 260,000 | USD: 1,629.79 |
-
|