사양

• X 1축 측정 범위: 200밀리미터
• X 1축 해상도: 0.00625㎛
• X1 축 길이 측정 단위: 레이저 홀로그래픽 스케일
• X1축 구동 속도/CNC 모드: 최대 40mm/s
• X1축 구동 속도/조이스틱 모드: 0~40mm/s
• X1 축 측정 속도: 거칠기 측정 0.02, 0.05, 0.1, 0.2 mm/s, 컨투어 측정 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 mm/s
• X 1축 측정 방향: 잡아당기는 방향과 미는 방향 모두
• Starrice 사용 시 X1축 직선 정밀도/표준 길이: (0.1 + 0.0015 L) μm L 구동 길이(mm) 또는 (0.05 + 0.0003 L) μm L 구동 길이(mm)
• Starrice 사용 시 X1축 직선 정밀도/2x 길이: (0.2 + 0.0015 L) μm L 구동 길이(mm) 또는 (0.1 + 0.0015 L) μm L 구동 길이(mm)
• X1 축 포인팅 정확도(20°C): ±(0.3 + 0.002L) μm L 구동 길이(mm) 또는 ±(0.16 + 0.001L) μm L 구동 길이(mm)
• Z1 축 측정 범위/표준 길이(시작 사용 시): 12밀리미터
• Z1 축 측정 범위/시작 사용 시 2x 길이: 24밀리미터
• Z1 축 해상도/표준 길이(Starrice 사용 시): 0.0008 μm
• Z1 축 해상도/Starrice 사용 시 2x 길이: 0.0016μm
• Z1 스타라이스 상하방향: 호 동작
• Z1 축 길이 측정 단위: 투명 선형 인코더
• Z1 축 포인팅 정확도(20°C): ± (0.3 + I 0.02 H I) μm H 측정 높이(mm) 또는 ± (0.07 + I 0.02 H I) μm H 측정 높이(mm)
• Starrice 사용 시 Z1 축 측정 힘/표준 길이: 4mN1 상수
• Z1 축 측정력/사용 시 길이 안정화의 2배: 0.75 mN1 상수
• Z1 축 후속 각도: 60° 위로, 60° 아래로(표면 특성에 따라 다름)
• Z1축 스타라이스 팁 모양/일반 길이 스타일러스: 팁 반지름 5㎛, 팁 각도 40°, 다이아몬드
• Z1축 등자 팁 모양/표준 길이 기둥 스타일러스: 팁 볼 반지름 0.25 mm, 사파이어
• Z1축 스타라이스 팁 모양/2길이 스타일러스: 팁 반지름 5㎛, 팁 각도 40°, 다이아몬드
• Z1 스타라이스 팁 모양/2x 길이 스타일러스: 없음 또는 팁 반지름 2 μm, 팁 각도 60°, 다이아몬드
• Z1축 등자 팁 모양/2 x 길이 기둥 스타일러스: 팁 볼 반지름 0.25 mm, 사파이어
• Z1 측정 평면 방향: 아래로
• Z2 축 이동 범위/Z2 축 유형 S: 300밀리미터
• Z2 축 이동 범위/Z2 축 유형 H: 500mm 또는 없음
• Z2 축 해상도: 0.05μm
• Z2 축 길이 측정 단위: 반사형 선형 인코더
• Z2 축 드라이브 속도/CNC 모드: 최대 200mm/s
• Z2 축 구동 속도/조이스틱 모드: 0~50mm/s
• 기본 부품/기본 크기(너비 x 깊이): 750 x 600밀리미터
• 기본/기본 자재: 고우지
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