사양

• 측정 범위(X Y x Z): 300 ~ 600 x 200 ~ 650 x 200 ~ 250mm
• 관측 장치: 프로그램 제어 전원 포탑 1 x -2 x -6 x
• 최소 표시 금액: 0.02마이크로미터
• 길이 측정 단위: 선형 인코더
• 이미징 장치: B CCD(1/2 유형)
• 조명 장치 (수직 에피 조명, 전송 조명 및 프로그램 제어 링 조명): 백색 LED
• 측정 정밀도 E1/X/Y 축: (0.8 + 2L/1000) μm
• 측정 정확도 E1/Z 축: (1.5 + 2L/1000) μm
• E2/XY 평면에서의 측정 정확도: (1.4 + 3L/1000) μm
• 추적 자동 초점 장치: 없이
• 유리 크기: 399~697 x 271~758mm
• 최대 측정 로드 용량: 15~40킬로그램
• 자동 초점/레이저 광원 추적: 반도체 레이저 피크 파장 690 mm
• 자동 초점/레이저 안전 추적: 클래스(JIS C 68022011, EN/IEC 60825 -12007) 호환
• 자동 초점 추적 시스템: 동축 대물 렌즈계(나이프 에지 방식)
• 자동 초점/적응 목표 추적: QV-HR1x, QV-SL1x, QV-HR 2.5 x, QV-SL 2.5 x, QV-5 x
• 추적 범위: QV-HR1x, QV-SL1x/6.3mm (± 3.15mm), QV-HR 2.5x, QV-SL 2.5x/1mm (± 0.5mm), QV -5 x/0.25mm (± 0.125mm)
• 크기: 기본 단위 치수(가로 x 세로 x 두께)/859 ~ 1309 x 951 ~ 1985 x 1609 ~ 1794mm
• 무게: 약 360~140킬로그램
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