SIGMAKOKI CO., LTD.

61-6985-66 진공규격 자동회전스테이지 VSGSP-120YAW

기능

  • Automatic rotation stage for vacuum environment.
  • The compact type that can save space of φ60 mm is ideal for use in experiments and in the chamber of inspection equipment.
  • φ120 mm is equipped with a limit sensor for vacuum environments.
  • Although it is thin, it uses a large motor of □ 42 mm, thereby achieving a high load capacity.
  • A 1m Teflon coated cable is provided for direct connection from the vacuum motor and vacuum limit switch to the chamber connector.

사양

  • [ > 진공규격 자동회전스테이지 < 공통 사양]
  • 모터 유형: VSGSP-60YAW: 진공 사양 5상 스테핑 모터 0.66A/상(Tamagawa Seiki (Co., Ltd.)), VSGSP-120YAW: 진공 사양 5상 스테핑 모터 0.75A/상(동양모터(주식회사))
  • 모터 제품 번호: VSGSP-60YAW: TS3664N5(·24mm), VSGSP-120YAW: PK543V-NB(·42mm)
  • 모터 스텝각: 0.72도
  • 센서 전원 전압: VSGSP-60YAW: -, VSGSP-120YAW: DC5 - 24V
  • 센서 전력 소비량: VSGSP-60YAW: -, VSGSP-120YAW: 소비 전류 10mA(최대 20mA)
  • 센서{\f11 }제어{\f11 }출력: VSGSP-60YAW: 접촉 방법, VSGSP-120YAW: 기계
  • 센서 출력 논리: 정상 개방
  • 호환 드라이버: SG-5M, SG-55M, SG-514MSC, MC-7514PCL
  • 호환 가능한 컨트롤러: GSC-01, GSC-02, SHOT-702, GIP-101, SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M·HIT-S, PGC-04
  • [개별 사양]
  • 회전 범위: 시계 반대 방향 CCW 방향, ∞ 방향, 시계 방향 0도(? 2.5°) 중지됩니다.
  • 표 표면 크기: 위120밀리미터
  • 이동 메커니즘: 웜 웜휠
  • 이동 안내서: 교차롤러
  • 단계 자료: 알루미늄, 스테인리스강
  • 표면 처리: 아니요
  • 질량: 1.7킬로그램
  • 해결 방법/(전체): 0.005°/펄스
  • 해상도(절반): 0.0025°/펄스
  • 최대 속도: 20°/초
  • 위치 지정 정밀도 반복: 0.02도
  • 내력: 98.0N(10.0kgf)
  • 손실된 동작: 0.05도
  • 센서 종류: GN-STM35A-1(메트로주식회사)
  • 센서 제한: 진공 터치 센서(NORMAL OPEN)
  • 원본 센서: 아니요
  • 근접 원점 센서: 아니요
  •  
주문 번호 61-6985-66
모델 번호 VSGSP-120YAW
표준 가격 JPY: 624,000 USD: 3,911.49
Excange rate 1USD= 159.53JPY
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수량 1piece
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[공급자 재고]
61-6985-62 진공규격 자동회전스테이지 VSGSP-60YAW VSGSP-60YAW 1piece JPY: 576,000 USD: 3,610.61

61-6985-66 진공규격 자동회전스테이지 VSGSP-120YAW VSGSP-120YAW 1piece JPY: 624,000 USD: 3,911.49

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