SIGMAKOKI CO., LTD.

61-6983-19　고내구성 유형 자동 정렬 스테이지 해상도 약 0.0038°　HDS-80YAW

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기능

Automatic rotation stage for micro-angle adjustment used for alignment of semiconductor wafer markers, etc.
Ideal for applications such as automatic alignment devices that adjust minute rotation angles for each sample.
The use of ball screws in the drive mechanism reduces wear and rattling of parts and achieves high durability.
Since the linear motion of the ball screw is converted to the rotational motion by the steel belt, the resolution and rotational speed do not differ between the stroke center and the stroke end.
The HDS series origin sensor is located near the stroke center (0°).
* Use the HDS series in a horizontal plane.
* Performance cannot be guaranteed when the watch is mounted on a vertical surface or on an inverted surface.

사양

[ > 고내구성 자동 회전 스테이지 < 공통 사양]
모터 유형: HDS-60YAW: 5상 스테핑 모터 0.66/상(Tamagawa Seiki(주식회사)), HDS-80YAW, HDS-120YAW: 5상 스테핑 모터 0.75A/상(동양모터(주식회사))
모터 제품 번호: HDS-60YAW: TS3664N4(·24mm), HDS-80YAW, HDS-120YAW: C9863-90215P(·28mm)
모터 스텝각: 0.72도
센서 전원 전압: DC5 - 24V±10%
센서 전력 소비량: 60mA 이하(센서 1개당 20mA 이하)
센서{\f11 }제어{\f11 }출력: NPN 오픈 컬렉터 출력 DC 30V 이하 50mA 이하
센서 출력 논리: 음영처리 시: 출력 트랜지스터 OFF(비전도): 음영 처리 시 센서 제한: 출력 트랜지스터 ON(전도): 원천 센서
호환 드라이버: SG-5M, SG-5MA, SG-55M, SG-55MA, SG-514MSC
호환 가능한 컨트롤러: GSC-01, GIP-101, GSC-02, SHOT-702, SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M·HIT-S, PGC-04
[개별 사양]
회전 범위: ±5도
표 표면 크기: 위80밀리미터
이동 메커니즘: 볼 스크루 + 스틸 벨트
이동 안내서: 베어링 시스템
스테이지 윗면 재료: 알루미늄
표면 처리: 산화흑색
질량: 1.3킬로그램
해결 방법(전체): 대략 0.0038°/펄스
해상도(절반): 대략 0.0019°/펄스
최대 속도: 60°/초
포지셔닝 정확도: 0.05도
반복 가능한 포지셔닝 정확도: 0.003도
내력: 58.8N(6.0kgf)
모멘트 강성: 0.2"/N·cm
손실된 동작: 0.003도
백래시: 0.05도
병렬 처리 수: 50μm
동심도: 10μm(±5°범위 내)
흔들림: 0.01μm(±5°의 범위 내)
센서 제품 번호: 마이크로 포토 센서: GP1S097HCZ(샤프 법인)
센서 제한: 사용 가능(보통 닫기)
원본 센서: 사용 가능(일반 열기)
근접 원점 센서: 아니요
CE 컨펌 제품
RoHS 제품 준수

주문 번호	61-6983-19
모델 번호	HDS-80YAW
표준 가격	JPY: 220,000 USD: 1,379.05 Excange rate 1USD= 159.53JPY Valid price in Japan
수량	1piece
일본의 주식
공급자 재고

다양한 상품군(多樣한) (다른 사이즈,다른 사양,옵션등)

주문 번호	이름	모델 번호	수량	표준 가격	일본에서의 유효 가격	재고 [공급자 재고]
61-6983-18	고내구성 유형 자동 정렬 스테이지 해상도 약 0.0053°　HDS-60YAW	HDS-60YAW	1piece	JPY: 154,000	USD: 965.34
61-6983-19	고내구성 유형 자동 정렬 스테이지 해상도 약 0.0038°　HDS-80YAW	HDS-80YAW	1piece	JPY: 220,000	USD: 1,379.05
61-6983-20	［단종］고내구성 유형 자동 정렬 스테이지 해상도 약 0.0022°　HDS-120YAW	HDS-120YAW	1piece	JPY: 260,000	USD: 1,629.79	-