ข้อมูลจําเพาะ

• ช่วงหน่วยวัดแกน X: 400 มม.
• ช่วงหน่วยวัดแกน Y: 400 มม.
• ช่วงหน่วยวัดของแกน Z: 200 มม.
• อุปกรณ์สังเกต: คลังไฟฟ้าควบคุมโปรแกรม 1 x -2 x -6 x
• จํานวนที่แสดงต่ําสุด: 0.01 μม.
• หน่วยวัดความยาว: ตัวเข้ารหัสเชิงเส้น
• อุปกรณ์เกี่ยวกับรูป: B CCD (1/2 ประเภท)
• อุปกรณ์แสง/การส่องสว่าง Epi แนวตั้ง: แฮโลเจน
• อุปกรณ์จัดแสง/การจัดแสงแบบส่งได้: แฮโลเจน
• การจัดแสงของอุปกรณ์แสง/การควบคุมโปรแกรม: แฮโลเจน
• ความแม่นยําของการวัด (E1)/X และแกน Y: (0.25 + L/1000) μm
• ความแม่นยําของการวัด (E1)/Z (การขีดทับเต็ม): (1.5 + 2L/1000) μm (ช่วง 200 มม.)
• การวัดความแม่นยํา (E1)/Z แกน (เส้นขีด 50 มม.): (1.0 + 2L/1000) μm (ช่วง 10 ถึง 60 มม.)
• ความถูกต้องของการวัด (E2)/XY Plane: (0.5 + 2L/1000) μm
• การติดตามอุปกรณ์โฟกัสอัตโนมัติ: ที่มี/ไม่มี
• ขนาดแก้วที่ต่อเชื่อม: 493 x 551 มม.
• กําลังการโหลดสูงสุดของการประเมิน: 40 กก.
• ขนาด: มิติมุมมองภายนอกของเนื้อความ (W x D x H)/1172 x 1735 x 1910 มม.
• น้ําหนัก : ประมาณ 2150 กิโลกรัม (รวมตารางการติดตั้ง)
•  
• *โปรดสอบถามเกี่ยวกับราคา
• *คุณจําเป็นต้องลงทะเบียนเป็นสมาชิกของร้านค้า AXEL เพื่อออกค่าประเมิน
•