ข้อมูลจําเพาะ

• น้ําหนัก: 36 กก. (รวมถึงเครื่องดูดฝุ่นที่ดูดฝุ่น) > เครื่องช่วยหายใจ <
• วัสดุ: แผ่น PMMA แบบโปร่งใส (อะคริลิก)
• ระดับการสูญญากาศที่อนุญาต: ประมาณ 133Pa (1Torr)
• ขนาดของบอร์ดชั้นวาง: 257 x 171 x 4 มม. (สามารถใส่แผ่นชั้นวางได้สูงสุด 2 แผ่นไว้ในช่วง 100 มม.)
• จํานวนของแผ่นวางสินค้า: 2 แผ่นงาน
• น้ําหนัก: 11 กก.
• ความหนาของแผ่น: 20 มม.
• มิติภายนอก: 300 x 222 x 300 (ความสูงรวม 460) มม.
• มิติภายใน: 260 x 180 x 260 มม. > สูญญากาศ (ประเภทกะบังลม) <
• ความเร็วเสียง: 20L/นาที (50Hz), 24L/นาที (60Hz)
• ขนาด: 118 x 236 x 184 มม.
• ความกดดันที่ประสบผลสําเร็จ: 5.3kPa (40Torr)
• พาวเวอร์ซัพพลาย: ขั้นตอนเดียว 100V 50/60Hz
• ความยาวของสายไฟ: ประมาณ 1.8m (ปลั๊ก 3P)
• น้ําหนัก: 7.2 กก. > เฟรม <
• วัสดุ: บอร์ดด้านบน/เหล็กไม่มีสแตนเลส (SUS304), บอร์ดผิวหน้า/อลูมิเนียม, เฟรม/อะลูมิเนียม (ชิ้นออดิคออกไซด์), บอร์ด/กล้า อบขนาด
• ขนาด: 500 x 500 x 758 มม.
• แคสเตอร์: φ75, โพลียูรีเทนที่ทําขึ้น (ด้วยสต็อปเปอร์)
• ความยาวของสายไฟ: Axcomm 2.8m (ปลั๊ก 3P)
• หมายเลขรุ่น: หน่วย VL
• อุปกรณ์เสริม: ท่อกระจายสุญญากาศ, วาล์วสุญญากาศ (1 ชิ้นต่อชิ้นสําหรับ intouch, deeast), เกจ์ความดัน x 1 ชิ้น
•