사양

• 측정 범위/X축 100밀리미터
• 측정 범위/Z1축(탐지부) 50밀리미터
• 상하 이동 범위(Z축 열): 없음 또는 350mm
• X축 기울기 메커니즘: ± 45도
• 해상도/X축: 0.1μm
• 해상도/Z1 축: 0.1μm
• 구동 방법/X축: 전기(0~20mm/S)
• 이동한 드라이브/위쪽 및 아래쪽(Z축 열): 없음 또는 수동(위/아래로 빠르게 이동, 미세 동작)
• 측정 속도: 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/S
• 직진도 정밀도(X축 수평 위치): 100mm/2.5μm
• 정밀도(20°C)/X 축 표시: ± (2.5 + 0.02L), μm L 측정된 길이(mm)
• 정밀도(20°C)/Z1 축 표시: ± (2.5 + | 0.1 H |) μm H = 수평 위치 ± 25mm 안에서의 높이 측정
• 측정 방향: 양 풀과 푸쉬
• 측정 평면 방향: 아래쪽 방향
• 측정력: 30 ± 10 mN (3gf)
• 스타일러스가 있는 스타일러스 팔로우 액세서리): 위로 77°, 아래로 87°(표면 특성에 따라 다름)
• 크기: 외부 크기(폭 x 깊이 x 높이)/651 ~ 745 x 143 ~ 450 x 138.5 ~ 885 mm
• 무게: 5.8~145.8킬로그램
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