사양

• 성능: 온도 범위 50°C - 200°C가 압력 x 10^1Pa(배전 후 로드 없이 상온) 상승 온도 70분(주변 온도 20°C - 200°C, 로드 없이)
• 함수: 프로그램 제어기에 의한 운전시스템 수동 제어시스템 PID 제어, 각 10개의 10개 세그먼트 프로그램 기능 측정 방법/표시 방법 디지털 설정/디지털 표시 센서 K 열전대 과다 온도 상승 방지 액압 센서 및 열전대의 독립 이중 방지 회로
• 배기 시스템: 수동 메인 밸브, Leak, 가스 유입 밸브, Bourdon 튜브 진공 게이지, 외관 22위 게이지 포트, 펌프 연결 포트(외관 22위 포트), Leak, 가스 유입 포트(Rp1/4), 진공 분배 튜브
• 난방: 히터 공간 히터 (진공 탱크 외부 표면에 장착) 부하 제어 펄스 출력, 출력 변수
• 안전 장치: 누전차단기, 히터 회로, 제어회로 퓨즈 이중 과열 방지회로(발열 중지, 부저, 램프 알람, 수동 리셋) 자가 진단 기능(설정값, 온도 센서, 소진)
• 표준: 챔버 내부 치수/내부 부피 W300 x D300 x H300mm/27L 외부 치수 W700 x D470 x H560mm 선반 보드 내력 약 16kg/보드 선반 안전 피치 67mm 전원 100VAC 단상 1KW 질량 70KG
• 옵션: 피라니 진공계, 오일 클리너 WS 시리즈, 콜드 트랩
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